2. 測定原理

　静電容量式膜厚計「アドミッタンスゲージ」の原理は、平行板コンデンサーの測定となり、導電性ゴム電

   極と素地金属間に誘電体の塗膜などがつまっているとき、距離d = 1μmとする。

 d =εr×ε₀×S / pF  ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・・ (1)

pF：求める静電容量　　　　

εr：比誘電率 4.525 ^*1            *¹ アドミッタンスゲージ初期設定値

ε₀：真空中の誘電率 8.854184         

S：電極面積 [mm²]  φ9.4mm = 69.3978 mm²               　

           d：距離 1 [μm] 

上記式より、電極径φ2.0mm、φ3.5mm、φ9.4mmの測定範囲と容量対膜厚の関係を図1、電圧対膜厚の関

係を図2に示します。

 標準プローブφ9.4mmの誘電率εrを2.0、3.0、4.525、6.0、8.0、10と変更したときの容量対膜厚の関係を図

 3に示します、図3より誘電率εr を変更すると容量対膜厚特性と電圧対膜厚の関係は平行関係です。